Electronic, optical and/or mechanical apparatus and systems and methods for fabricating same

전자, 광학, 및/또는 기계 장치 및 시스템, 그리고 이를 제조하기 위한 방법

Abstract

가요성 전자 구조물 및 가요성 전자 구조물을 제조하기 위한 방법이 제공된다. 예시적인 방법은 기판에 제1 층을 도포하는 단계, 제1 층을 통해 기판으로의 복수의 관통부를 생성하는 단계, 및 제2 중합체가 기판의 적어도 일 부분과 접촉하는 앵커를 형성하도록 제1 층에 제2 중합체 층을 도포하는 단계를 포함한다. 적어도 하나의 전자 장치 층이 제2 중합체 층의 일 부분 상에 배치된다. 적어도 하나의 트렌치가 제1 층의 적어도 일 부분을 노출시키기 위해 제2 중합체 층을 통해 형성된다. 제1 층의 적어도 일 부분이 선택적 에칭제에 구조물을 노출시킴으로써 제거되어, 기판과 접촉하는 가요성 전자 구조물을 제공한다. 전자 구조물은 기판으로부터 이형될 수 있다.

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